1. Bulk Gas System Definition:
Opbevaring og trykstyring af inerte gasser Gastyper: Typiske inerte gasser (nitrogen, argon, trykluft osv.)
Rørledningsstørrelse: Fra 1/4 (overvågningsrørledning) til 12-tommers hovedrørledning
Systemets hovedprodukter er: membranventil/bælgventil/kugleventil, højrenhedskonnektor (VCR, svejseform), ferrulekonnektor, trykreguleringsventil, trykmåler osv.
I øjeblikket omfatter det nye system også et bulk-specielt gassystem, som bruger faste gasflasker eller tankbiler til opbevaring og transport.
2. Definition af rensesystem:
Fjernelse af urenheder fra bulkgasser til gasrørledninger med høj renhed
3. Gasskabe Definition:
Sørg for trykkontrol og flowovervågning for specielle gaskilder (giftige, brandfarlige, reaktive, ætsende gasser) og har mulighed for at udskifte gasflasker.
Placering: Placeret på Sub-fab gulvet eller nederste etage til opbevaring af specielle gasser Kilde: NF3, SF6, WF6 mv.
Rørledningsstørrelse: Intern gasrørledning, generelt 1/4 tomme til procesrørledning, 1/4-3/8 tomme hovedsageligt til nitrogenrensningsrørledning med høj renhed.
Hovedprodukter: Membranventiler med høj renhed, kontraventiler, trykmålere, trykmålere, konnektorer med høj renhed (VCR, svejseform) Disse gasskabe indeholder grundlæggende automatiske omskiftningsmuligheder for cylindere for at sikre kontinuerlig gasforsyning og sikker udskiftning af cylindere.
4. Distributionsdefinition:
Tilslutning af gaskilden til gasopsamlingsspolen
Linjestørrelse: På chipfabrikken varierer størrelsen på bulkgasdistributionsrørledningen generelt fra 1/2 tomme til 2 tommer.
Tilslutningsform: Specielle gasrørledninger forbindes generelt ved svejsning uden nogen mekanisk forbindelse eller andre bevægelige dele, hovedsagelig fordi svejseforbindelsen har en stærk tætningssikkerhed.
I en spånfabrik er der hundredvis af kilometer slanger forbundet til at transmittere gas, som stort set er omkring 20 fod lange og svejset sammen. Nogle rørbøjninger og rørformede svejseforbindelser er også meget almindelige.
5. Multifunktionsventilboks (Ventilmanifoldboks, VMB) Definition:
Det er at distribuere specielle gasser fra gaskilden til forskellige udstyrsender.
Intern rørledningsstørrelse: 1/4 tomme procesrørledning og 1/4 - 3/8 tomme renserørledning. Systemet kan bruge computerstyring til at kræve aktiverede ventiler eller lavere omkostninger med manuelle ventiler.
Systemprodukter: membranventiler/bælgventiler med høj renhed, kontraventiler, samlinger med høj renhed (VCR, mikrosvejseform), trykreguleringsventiler, trykmålere og trykmålere osv. Til distribution af nogle inerte gasser er ventilmanifoldpanelet - Der anvendes hovedsageligt VMP (multifunktionsventilskive), som har en åben gasskiveoverflade og ikke kræver et lukket rumdesign og yderligere nitrogenudskylning.
6. Sekundær ventilplade/kasse (værktøjstilslutningspanel) Definition:
Tilslut den gas, der kræves af halvlederudstyret, fra gaskilden til udstyrets ende, og sørg for en tilsvarende trykregulering. Dette panel er et gaskontrolsystem, der er tættere på udstyrsenden end VMB (multifunktionsventilboks).
Gasrørledningsstørrelse: 1/4 - 3/8 tomme
Væskerørledningsstørrelse: 1/2 - 1 tomme
Afløbsrørledningsstørrelse: 1/2 - 1 tomme
Hovedprodukter: membranventil/bælgventil, envejsventil, trykreguleringsventil, trykmåler, trykmåler, højrenhedsled (VCR, mikrosvejsning), ferruleled, kugleventil, slange osv.
Indlægstid: 22. nov. 2024