1. Definition af bulkgassystem:
Opbevaring og trykregulering af inerte gasser Gastyper: Typiske inerte gasser (nitrogen, argon, trykluft osv.)
Rørledningsstørrelse: Fra 1/4 (overvågningsrørledning) til 12-tommer hovedrørledning
Systemets hovedprodukter er: membranventil/bælgventil/kugleventil, højrenhedsforbindelse (VCR, svejseform), ferruleforbindelse, trykreguleringsventil, trykmåler osv.
I øjeblikket omfatter det nye system også et specialgassystem i bulk, der bruger faste gasflasker eller tankvogne til opbevaring og transport.
2. Definition af rensningssystem:
Fjernelse af urenheder fra bulkgasser til rørledninger med høj renhed
3. Definition af gasskabe:
Sørg for trykkontrol og flowovervågning for særlige gaskilder (giftige, brandfarlige, reaktive, ætsende gasser) og have mulighed for at udskifte gasflasker.
Placering: Placeret på underetagen eller nederste etage til opbevaring af specialgasser. Kilde: NF3, SF6, WF6 osv.
Rørledningsstørrelse: Intern gasrørledning, generelt 1/4 tomme til procesrørledning, 1/4-3/8 tomme primært til rørledninger med høj renhed af nitrogen.
Hovedprodukter: Membranventiler med høj renhed, kontraventiler, trykmålere, trykmålere, forbindelsesstykker med høj renhed (VCR, svejseform). Disse gasskabe indeholder grundlæggende automatiske skiftefunktioner til cylindre for at sikre kontinuerlig gasforsyning og sikker udskiftning af cylindre.
4. Definition af fordeling:
Tilslutning af gaskilden til gasopsamlingsspolen
Ledningsstørrelse: I chipfabrikken varierer størrelsen på bulkgasdistributionsrørledningen generelt fra 1/2 tomme til 2 tommer.
Tilslutningsform: Specielle gasrørledninger er generelt forbundet ved svejsning uden mekanisk forbindelse eller andre bevægelige dele, primært fordi svejseforbindelsen har stærk tætningspålidelighed.
I en chipfabrik er der hundredvis af kilometer rør forbundet til at transmittere gas, som grundlæggende er omkring 6 meter lange og svejsede sammen. Nogle rørbøjninger og rørformede svejseforbindelser er også meget almindelige.
5. Multifunktionsventilboks (Ventilmanifoldboks, VMB) Definition:
Det er til at distribuere specielle gasser fra gaskilden til forskellige udstyrsender.
Intern rørledningsstørrelse: 6 mm procesrørledning og 6 mm - 9 mm udrensningsrørledning. Systemet kan bruge computerstyring til at kræve aktiverede ventiler eller reducere omkostningerne ved manuelle ventiler.
Systemprodukter: membranventiler/bælgventiler med høj renhed, kontraventiler, samlinger med høj renhed (VCR, mikrosvejseform), trykreguleringsventiler, trykmålere og trykmålere osv. Til distribution af visse inerte gasser anvendes primært ventilmanifoldpanelet - VMP (multifunktionsventilskive), som har en åben gasskiveoverflade og ikke kræver et lukket rumdesign og yderligere nitrogenudrensning.
6. Sekundær ventilplade/-boks (værktøjstilslutningspanel) Definition:
Tilslut den gas, der kræves af halvlederudstyret, fra gaskilden til udstyrets ende, og sørg for den tilsvarende trykregulering. Dette panel er et gasstyringssystem, der er tættere på udstyrets ende end VMB (multifunktionsventilboks).
Gasrørledningsstørrelse: 1/4 - 3/8 tomme
Størrelse på væskerørledning: 1/2 - 1 tomme
Udløbsrørledningsstørrelse: 1/2 - 1 tomme
Hovedprodukter: membranventil/bælgventil, envejsventil, trykreguleringsventil, trykmåler, trykmåler, højrenhedssamling (VCR, mikrosvejsning), ferrulesamling, kugleventil, slange osv.
Opslagstidspunkt: 22. november 2024