As halvlederog mikroelektroniske teknologier udvikler sig mod højere ydeevne og højere integration, stilles der højere krav til renheden af elektroniske specialgasser. Gasrørteknologi med høj renhed er en vigtig del af gasforsyningssystemet med høj renhed. Det er nøgleteknologien til levering af gasser med høj renhed, der opfylder kravene til gasanvendelsespunkterne, mens den stadig bevarer kvalificeret kvalitet.
Rørteknologi med høj renhed omfatter det korrekte design af systemet, valg af rørfittings og hjælpematerialer, konstruktion og installation og test.
01Generelt koncept for gastransmissionsrør
Alle gasser med høj renhed og høj renhed skal transporteres til terminalgaspunktet gennem rørledninger. For at opfylde proceskvalitetskravene til gas, når gaseksportindekset er sikkert, er det mere nødvendigt at være opmærksom på materialevalg og konstruktionskvalitet af rørsystemet. Ud over nøjagtigheden af gasproduktions- eller rensningsudstyret er det i høj grad påvirket af mange faktorer i rørledningssystemet. Derfor skal valget af rør overholde de relevante rensningsindustriprincipper og markere materialet af rørene på tegningerne.
02Betydningen af rørledninger med høj renhed i gastransport
Betydningen af rørledninger med høj renhed ved transport af høj ren gas Under smeltningsprocessen af rustfrit stål kan hvert ton absorbere omkring 200 g gas. Efter at det rustfri stål er behandlet, sidder ikke kun forskellige forurenende stoffer fast på dets overflade, men også en vis mængde gas absorberes i dets metalgitter. Når der er luftstrøm, der passerer gennem rørledningen, vil den del af gassen, der absorberes af metallet, komme ind i luftstrømmen igen og forurene den rene gas.
Når luftstrømmen i røret er diskontinuert, danner røret trykadsorption på den gas, der passerer igennem. Når luftstrømmen holder op med at passere, danner den gas, der er adsorberet af røret, trykreduktionsanalyse, og den analyserede gas kommer også ind i den rene gas i røret som en urenhed.
Samtidig vil adsorptions- og analysecyklussen få metallet på den indre overflade af røret til at producere en vis mængde pulver. Denne metalstøvpartikel forurener også den rene gas i røret. Denne egenskab ved røret er meget vigtig. For at sikre renheden af den transporterede gas kræves det ikke kun, at rørets indvendige overflade har en ekstrem høj glathed, men også at den skal have høj slidstyrke.
Når gassen har stærke korrosive egenskaber, skal der anvendes korrosionsbestandige rustfri stålrør til rørføring. Ellers vil der opstå korrosionspletter på rørets indvendige overflade på grund af korrosion. I alvorlige tilfælde vil store metalstykker skalle af eller endda perforere og derved forurene den rene gas, der transporteres.
03Rørmateriale
Materialevalget af røret skal vælges i henhold til brugens behov. Kvaliteten af røret måles generelt i henhold til ruheden af rørets indre overflade. Jo lavere ruhed, jo mindre sandsynlighed er det for at bære partikler. Generelt opdelt i tre typer:
Den ene erEP grade 316L rør, som er blevet elektrolytisk poleret (Electro-Polish). Den er korrosionsbestandig og har lav overfladeruhed. Rmax (maksimal top til dalhøjde) er omkring 0,3μm eller mindre. Den har den højeste fladhed og er ikke let at danne mikro-hvirvelstrømme. Fjern forurenede partikler. Reaktionsgassen, der anvendes i processen, skal føres i rør på dette niveau.
Den ene er enBA klasse 316Lrør, som er behandlet af Bright Anneal og ofte bruges til gasser, der er i kontakt med chippen, men som ikke deltager i procesreaktionen, såsom GN2 og CDA. Det ene er AP-rør (Annealing & Picking), som ikke er specialbehandlet og generelt bruges til dobbeltsæt yderrør, der ikke anvendes som gasforsyningsledninger.
04 Rørledningskonstruktion
Bearbejdningen af rørmundingen er et af nøglepunkterne i denne byggeteknologi. Rørledningsskæringen og præfabrikationen udføres i et rent miljø, og det sikres samtidig, at der ikke er skadelige mærker eller skader på rørledningens overflade før skæring. Forberedelser til nitrogenskylning i rørledningen bør foretages, før rørledningen åbnes. I princippet bruges svejsning til at forbinde gastransmissions- og distributionsrørledninger med høj renhed og høj renhed med stort flow, men direkte svejsning er ikke tilladt. Foringssamlinger bør anvendes, og det anvendte rørmateriale skal ikke have nogen ændring i struktur under svejsning. Hvis materialet med for højt kulstofindhold svejses, vil luftgennemtrængeligheden af svejsedelen få gassen i og uden for røret til at trænge ind i hinanden, hvilket ødelægger transportgassens renhed, tørhed og renhed, hvilket vil føre til alvorlige konsekvenser og påvirke produktionskvaliteten.
Sammenfattende skal der til højrent gas- og specielle gastransmissionsrørledninger anvendes et specielt behandlet højrent rustfrit stålrør, hvilket gør, at rørledningssystemet med høj renhed (inklusive rørledninger, rørfittings, ventiler, VMB, VMP) optager en vital mission inden for gasdistribution med høj renhed.
Indlægstid: 26. november 2024