As halvlederog mikroelektroniske teknologier udvikler sig mod højere ydeevne og højere integration, og der stilles højere krav til renheden af elektroniske specialgasser. Rørledningsteknologi til høj renhed af gas er en vigtig del af forsyningssystemet til høj renhed af gas. Det er nøgleteknologien til at levere høj renhed af gas, der opfylder kravene til gasforbrugsstederne, samtidig med at den opretholder en kvalificeret kvalitet.
Rørteknologi med høj renhed omfatter korrekt design af systemet, valg af rørfittings og hjælpematerialer, konstruktion, installation og testning.
01 Generelt koncept for gastransmissionsrørledninger
Alle gasser med høj renhed og høj renhed skal transporteres til terminalgaspunktet via rørledninger. For at opfylde proceskvalitetskravene for gas, når gaseksportindekset er sikkert, er det mere nødvendigt at være opmærksom på materialevalg og konstruktionskvalitet af rørsystemet. Ud over nøjagtigheden af gasproduktions- eller rensningsudstyret påvirkes det i høj grad af mange faktorer i rørledningssystemet. Derfor skal valget af rør overholde de relevante rensningsindustriprincipper og mærke rørmaterialet på tegningerne.
02 Betydningen af rørledninger med høj renhed i gastransport
Betydningen af rørledninger med høj renhed i transport af gas med høj renhed Under smeltningsprocessen af rustfrit stål kan hvert ton absorbere omkring 200 g gas. Efter bearbejdning af rustfrit stål fastgøres ikke kun forskellige forurenende stoffer på overfladen, men en vis mængde gas absorberes også i metalgitteret. Når der passerer luftstrøm gennem rørledningen, vil den del af gassen, der absorberes af metallet, vende tilbage til luftstrømmen og forurene den rene gas.
Når luftstrømmen i røret er diskontinuerlig, danner røret trykadsorption på den gas, der passerer igennem. Når luftstrømmen stopper med at passere, danner den gas, der absorberes af røret, en trykreduktionsanalyse, og den analyserede gas indgår også i den rene gas i røret som en urenhed.
Samtidig vil adsorptions- og analysecyklussen få metallet på rørets indre overflade til at producere en vis mængde pulver. Denne metalstøvpartikel forurener også den rene gas i røret. Denne egenskab ved røret er meget vigtig. For at sikre renheden af den transporterede gas kræves det ikke kun, at rørets indre overflade har en ekstremt høj glathed, men også at den har høj slidstyrke.
Når gassen har stærke korrosive egenskaber, skal der anvendes korrosionsbestandige rustfri stålrør til rørføring. Ellers vil der opstå korrosionspletter på rørets indvendige overflade på grund af korrosion. I alvorlige tilfælde vil store metalstykker skalle af eller endda perforere, hvorved den rene gas, der transporteres, forurenes.
03Rørmateriale
Materialevalget til røret skal vælges i henhold til brugsbehovet. Rørets kvalitet måles generelt ud fra ruheden på rørets indre overflade. Jo lavere ruheden er, desto mindre sandsynligt er det, at det indeholder partikler. Generelt opdeles det i tre typer:
Den ene erEP-kvalitet 316L rør, som er blevet elektrolytisk poleret (elektropoleret). Den er korrosionsbestandig og har lav overfladeruhed. Rmax (maksimal højde fra top til dal) er ca. 0,3 μm eller mindre. Den har den højeste fladhed og danner ikke let mikrohvirvelstrømme. Fjern forurenede partikler. Reaktionsgassen, der anvendes i processen, skal ledes i rørledninger på dette niveau.
En er enBA-kvalitet 316Lrør, som er blevet behandlet med Bright Anneal og ofte bruges til gasser, der er i kontakt med spånen, men som ikke deltager i procesreaktionen, såsom GN2 og CDA. Et af dem er AP-rør (Annealing & Picking), som ikke er specialbehandlet og generelt bruges til dobbelte sæt ydre rør, der ikke bruges som gasforsyningsledninger.
04 Rørledningskonstruktion
Bearbejdningen af rørmundingen er et af nøglepunkterne i denne konstruktionsteknologi. Rørledningsskæring og præfabrikation udføres i et rent miljø, og samtidig sikres det, at der ikke er skadelige mærker eller skader på rørledningens overflade før skæring. Forberedelser til nitrogenskylning i rørledningen bør foretages, før rørledningen åbnes. I princippet bruges svejsning til at forbinde gastransmissions- og distributionsrørledninger med høj renhed og høj renhed med stor strømning, men direkte svejsning er ikke tilladt. Der bør anvendes foringsrør, og det anvendte rørmateriale skal ikke ændre struktur under svejsningen. Hvis materiale med for højt kulstofindhold svejses, vil luftgennemtrængeligheden i svejsedelen få gassen indeni og uden for røret til at trænge ind i hinanden, hvilket ødelægger renheden, tørheden og renheden af den transporterende gas, hvilket vil føre til alvorlige konsekvenser og påvirke produktionskvaliteten.
Kort sagt skal der til rørledninger til transmission af gas med høj renhed og specialgas anvendes et specielt behandlet rør af høj renhed i rustfrit stål, hvilket gør, at rørledningssystemet med høj renhed (inklusive rørledninger, rørfittings, ventiler, VMB, VMP) spiller en vigtig rolle i distributionen af gas med høj renhed.
Opslagstidspunkt: 26. november 2024